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음극아크 이온 플레이팅법에 의한 TiN 파막특성에 관한 연구
음극아크 이온 플레이팅법에 의한 TiN 파막특성에 관한 연구
김강범 | 경희대학교 재료과학기술연구소 | 1995
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