자료유형  

 기사

청구기호  

041 대46 v.3

서명/저자  

RF 스퍼터링법에 의한 TiO₃세라믹 박막의 제조 및 유전특성 / 최운식 ; 김진사

발행사항  

전남 : 대불대학교, 1997.

형태사항  

pp. 413-424

키워드  

RF 스퍼터링 TiO₃ 세라믹 박막

기타저자  

최운식

기타저자  

김진사

기본자료저록  

논문집 : 제3집

Control Number  

joongbu:65986