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음극아크 이온 플레이팅법에 의한 TiN 파막특성에 관한 연구
음극아크 이온 플레이팅법에 의한 TiN 파막특성에 관한 연구 / 김강범 ; 백영남
음극아크 이온 플레이팅법에 의한 TiN 파막특성에 관한 연구
자료유형  
 기사
청구기호  
041 경97재 v.8
서명/저자  
음극아크 이온 플레이팅법에 의한 TiN 파막특성에 관한 연구 / 김강범 ; 백영남
발행사항  
서울 : 경희대학교 재료과학기술연구소, 1995.
형태사항  
pp. 77-85
키워드  
음극 아크 이온 플레이팅법 TiN 파막
기타저자  
김강범
기타저자  
백영남
기본자료저록  
논문집 : 재료과학기술 제8집
Control Number  
joongbu:55868
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