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Title/Author  

나노공정용 유-무기 소재의 패터닝 기술개발 : UV-NIL법에 의한 세라믹 패턴공정 확립 : 나노메카트로닉스기술개발사업단 = Ceramic patterning via UV-NIL (nanoimrinting lithography) process / 충남대학교.

Publish Info  

[과천] : 과학기술부, 2005

Material Info  

32장 : 채색삽도 ; 30cm

Added Entry-Corporate Name  

충남대학교

Added Entry-Corporate Name  

한국 과학기술부

기타서명  

Ceramic patterning via UV-NIL process

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joongbu:304142