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KrF 엑시머 레이저 열처리에 의해 제조된 다결정 실리콘 박막의 stress 특성변화
KrF 엑시머 레이저 열처리에 의해 제조된 다결정 실리콘 박막의 stress 특성변화
이창우 | 국민대학교 기초과학연구소 | 1996
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SiF₄H₂gas를 이용하여 제조된 다결정 실리콘 박막에서의 기판에 따른 Stress 특성변화
SiF₄H₂gas를 이용하여 제조된 다결정 실리콘 박막에서의 기판에 따른 Stress 특성변화
이창우 | 국민대학교 기초과학연구소 | 1996
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