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고주파 평면 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 ZnO 박막의 [0002] 배향성과 압전소자에의 응용연구 = [0002] Orientation of ZnO Films Prepared by a RF Planar Magnetrom Sputtering and Their Application to Piezoelectric Devices
고주파 평면 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 ZnO 박막의 [0002] 배향성과 압전소자에의 응용연구 = [0002] Orientation of ZnO Films Prepared by a RF Planar Magnetrom Sputtering and Their Application to Piezoelectric Devices
한봉명 | 韓南大學校 | 1997
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