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마그네트론 코스퍼터링에 의한 측온저항체 온도센서용 Pt-Co 합금박막의 증착과 그 특성
마그네트론 코스퍼터링에 의한 측온저항체 온도센서용 Pt-Co 합금박막의 증착과 그 특성
정귀상 | 동서공과대학교 | 1997
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