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고에너지 이온주입 공정조건에 따른 유기 결함의 거동 양상과 그 감소대책
고에너지 이온주입 공정조건에 따른 유기 결함의 거동 양상과 그 감소대책
고중혁 | 고려대학교 부설 공학기술연구소 | 1998
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