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나노공정용 유-무기 소재의 패터닝 기술개발 : UV-NIL법에 의한 세라믹 패턴공정 확립 : 나노메카트로닉스기술개발사업단 = Ceramic patterning via UV-NIL (nanoimrinting lithography) process
나노공정용 유-무기 소재의 패터닝 기술개발 : UV-NIL법에 의한 세라믹 패턴공정 확립 : 나노메카트로닉스기술개발사업단 = Ceramic patterning via UV-NIL (nanoimrinting lithography) process
충남대학교 | 과학기술부 | 2005
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