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계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화
계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화
장수천 | 한국재료학회 | 2012
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