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스퍼터링을 이용한 Cu 박막 증착과 그 플라즈마의 OES를 통해 진단
스퍼터링을 이용한 Cu 박막 증착과 그 플라즈마의 OES를 통해 진단
이효재 | 국민대학교 기초과학연구소 | 1994
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