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이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구
이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구
- 자료유형
- 기사
- 청구기호
- 041 경18사 v.21
- 서명/저자
- 이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구 / 김동수 ; 정원채
- 발행사항
- 경기도 : 경기대학교 산업기술종합연구소, 2001.
- 형태사항
- pp. 89-100
- 기타저자
- 김동수
- 기타저자
- 정원채
- 기본자료저록
- 산업기술종합연구소논문집 : 제21집 2001, 06
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:92785
