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이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구
이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구
- Material Type
- 기사
- Callnumber
- 041 경18사 v.21
- Title/Author
- 이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구 / 김동수 ; 정원채
- Publish Info
- 경기도 : 경기대학교 산업기술종합연구소, 2001.
- Material Info
- pp. 89-100
- Added Entry-Personal Name
- 김동수
- Added Entry-Personal Name
- 정원채
- Host Item Entry
- 산업기술종합연구소논문집 : 제21집 2001, 06
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:92785
Detail Info.
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