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 기사

청구기호  

041 경18사 v.19

서명/저자  

마스크 폭에 따른 ultrashallow PN접합 형성에 관한 연구 / 김동수 ; 정원채

발행사항  

경기도 : 경기대학교 산업기술종합연구소, 2000.

형태사항  

pp. 255-265

기타저자  

김동수

기타저자  

정원채

기본자료저록  

산업기술종합연구소논문집 : 제19집 2000, 06

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joongbu:92743