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마스크 폭에 따른 ultrashallow PN접합 형성에 관한 연구
마스크 폭에 따른 ultrashallow PN접합 형성에 관한 연구
- Material Type
- 기사
- Callnumber
- 041 경18사 v.19
- Title/Author
- 마스크 폭에 따른 ultrashallow PN접합 형성에 관한 연구 / 김동수 ; 정원채
- Publish Info
- 경기도 : 경기대학교 산업기술종합연구소, 2000.
- Material Info
- pp. 255-265
- Added Entry-Personal Name
- 김동수
- Added Entry-Personal Name
- 정원채
- Host Item Entry
- 산업기술종합연구소논문집 : 제19집 2000, 06
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:92743
Detail Info.
- Reservation
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