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선형가열법으로 접합한 실리콘 웨이퍼의 열적 특성에 관한 연구
선형가열법으로 접합한 실리콘 웨이퍼의 열적 특성에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- 청구기호
- 041 순835사 v.6-1
- 서명/저자
- 선형가열법으로 접합한 실리콘 웨이퍼의 열적 특성에 관한 연구 / 주영철
- 발행사항
- 충남 : 순천향대학교 산업기술연구소, 2000.
- 형태사항
- pp. 13-19
- 기타저자
- 주영철
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:88186
MARC
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