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고집적소자에 응용되는 텅스텐-보론-질소 화합물 박막의 열적인 안정성
고집적소자에 응용되는 텅스텐-보론-질소 화합물 박막의 열적인 안정성 / 이창우 ; 고석중 ; Che...
Contents Info
고집적소자에 응용되는 텅스텐-보론-질소 화합물 박막의 열적인 안정성
자료유형  
 기사
ISSN  
12260002
청구기호  
041 국38기 v.19-1
서명/저자  
고집적소자에 응용되는 텅스텐-보론-질소 화합물 박막의 열적인 안정성 / 이창우 ; 고석중 ; Chen Q
발행사항  
서울 : 국민대학교 기초과학연구소, 2001.
형태사항  
pp. 61-
기타저자  
이창우
기타저자  
고석중
기타저자  
Chen Q
기본자료저록  
기초과학연구소논문집 : 제19집 제1권 2001, 05
모체레코드  
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Control Number  
joongbu:87966
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