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반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 개발 / 이병훈

반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 개발

자료유형: 기사

청구기호: 041 명78ㅅ v.20

서명/저자: 반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 개발 / 이병훈

발행사항: 서울 : 명지대학교 산업기술연구소, 2001.

형태사항: pp. 192-196

키워드: 반도체 제조공정 장비 호스트 SECS 프로토콜

기타저자: 이병훈

기본자료저록: 산업기술연구소논문집 : 제20집 2001, 03

모체레코드: 모체정보확인

Control Number: joongbu:85440

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