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반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 개발
반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 개발 / 이병훈
반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 개발
자료유형  
 기사
청구기호  
041 명78ㅅ v.20
서명/저자  
반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 개발 / 이병훈
발행사항  
서울 : 명지대학교 산업기술연구소, 2001.
형태사항  
pp. 192-196
키워드  
반도체 제조공정 장비 호스트 SECS 프로토콜
기타저자  
이병훈
기본자료저록  
산업기술연구소논문집 : 제20집 2001, 03
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
joongbu:85440
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