자료유형  

 기사

ISSN  

12260002

청구기호  

041 국38기 v.14

서명/저자  

KrF 엑시머 레이저 열처리에 의해 제조된 다결정 실리콘 박막의 stress 특성변화 / 이창우

발행사항  

서울 : 국민대학교 기초과학연구소, 1996.

형태사항  

pp. 131-140

키워드  

KRF 엑시머 레이저 실리콘 박막 stress

기타저자  

이창우

기본자료저록  

기초과학연구소논문집 : 제14집 1996, 05

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

joongbu:85175