자료유형  

 기사

ISSN  

12260002

청구기호  

041 국38기 v.14

서명/저자  

Capacitively coupled RF 플라즈마의 1차원 모의실험의 경계 조건에 대한 모델 / 조영석

발행사항  

서울 : 국민대학교 기초과학연구소, 1996.

형태사항  

pp. 93-103

키워드  

Capacitively coupled RF 플라즈마 1차원

기타저자  

조영석

기본자료저록  

기초과학연구소논문집 : 제14집 1996, 05

모체레코드  

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Control Number  

joongbu:85172