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RF 유도결합 산소 플라즈마의 실험연구
RF 유도결합 산소 플라즈마의 실험연구
상세정보
- Material Type
- 기사
- Callnumber
- 041 동62기 v.15-2
- Title/Author
- RF 유도결합 산소 플라즈마의 실험연구 / 서동철 저 ; 정성운 ; 윤현진 ; 정태훈
- Publish Info
- 부산 : 동아대학교 기초과학연구소, 1998.
- Material Info
- pp. 59-63
- Added Entry-Personal Name
- 서동철
- Added Entry-Personal Name
- 정성운
- Added Entry-Personal Name
- 윤현진
- Added Entry-Personal Name
- 정태훈
- Host Item Entry
- 기초과학연구논문집 : 제15권 2호 1999, 03
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:84391
MARC
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