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RF 유도결합 산소 플라즈마의 실험연구 / 서동철 저 ; 정성운 ; 윤현진 ; 정태훈

RF 유도결합 산소 플라즈마의 실험연구

자료유형: 기사

청구기호: 041 동62기 v.15-2

서명/저자: RF 유도결합 산소 플라즈마의 실험연구 / 서동철 저 ; 정성운 ; 윤현진 ; 정태훈

발행사항: 부산 : 동아대학교 기초과학연구소, 1998.

형태사항: pp. 59-63

키워드: RF 유도결합 산소 플라즈마

기타저자: 서동철

기타저자: 정성운

기타저자: 윤현진

기타저자: 정태훈

기본자료저록: 기초과학연구논문집 : 제15권 2호 1999, 03

모체레코드: 모체정보확인

Control Number: joongbu:84391

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