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HNO₃: H₂O₂ : HF 세척법을 이용한 실리콘 직접 접합 기술에 관한 특성 연구
HNO₃: H₂O₂ : HF 세척법을 이용한 실리콘 직접 접합 기술에 관한 특성 연구
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12263869
- 청구기호
- 041 고29공 v.37
- 서명/저자
- HNO₃: H₂O₂ : HF 세척법을 이용한 실리콘 직접 접합 기술에 관한 특성 연구 / 주철민 ; 이정훈 ; 최우범 ; 이종석 ; 성만영
- 발행사항
- 서울 : 고려대학교 부설 공학기술연구소, 1999.
- 형태사항
- pp. 71-75
- 기타저자
- 주철민
- 기타저자
- 이정훈
- 기타저자
- 최우범
- 기타저자
- 이종석
- 기타저자
- 성만영
- 기본자료저록
- 공학논문집 : 통권 제37호 2000, 03
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:83986
