자료유형  

 기사

청구기호  

041 경18사 v.16

서명/저자  

마스크 폭에 따른 이온 분포의 모의실험 / 안병목 ; 정원채

발행사항  

경기도 : 경기대학교 산업기술종합연구소, 1998.

형태사항  

pp. 191-198

키워드  

마스크 이온

기타저자  

안병목

기타저자  

정원채

기본자료저록  

산업기술종합연구소논문집 : 제16집 1998, 12

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joongbu:83805