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마스크 폭에 따른 이온 분포의 모의실험
마스크 폭에 따른 이온 분포의 모의실험
상세정보
- 자료유형
- 기사
- 청구기호
- 041 경18사 v.16
- 서명/저자
- 마스크 폭에 따른 이온 분포의 모의실험 / 안병목 ; 정원채
- 발행사항
- 경기도 : 경기대학교 산업기술종합연구소, 1998.
- 형태사항
- pp. 191-198
- 기타저자
- 안병목
- 기타저자
- 정원채
- 기본자료저록
- 산업기술종합연구소논문집 : 제16집 1998, 12
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:83805
MARC
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