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HFCVD 방법을 이용한 고품위 다이아몬드 박막의 제작 및 특성 조사
HFCVD 방법을 이용한 고품위 다이아몬드 박막의 제작 및 특성 조사 / 권민철 ; 안수연 ; 장지선 ...
HFCVD 방법을 이용한 고품위 다이아몬드 박막의 제작 및 특성 조사
자료유형  
 기사
청구기호  
041 동62기 v.13-2
서명/저자  
HFCVD 방법을 이용한 고품위 다이아몬드 박막의 제작 및 특성 조사 / 권민철 ; 안수연 ; 장지선 ; 옥경식 ; 박홍준
발행사항  
부산 : 동아대학교 기초과학연구소, 1996.
형태사항  
pp. 33-44
키워드  
HFCVD 다이아몬드 박막
기타저자  
권민철
기타저자  
안수연
기타저자  
장지선
기타저자  
옥경식
기타저자  
박홍준
기본자료저록  
기초과학연구논문집 : 제13권 제2호
Control Number  
joongbu:79120
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