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spline 보간법에 의한 실리콘웨이퍼 단면도 추정
spline 보간법에 의한 실리콘웨이퍼 단면도 추정
- 자료유형
- 기사
- 청구기호
- 041 남54고 v.1
- 서명/저자
- spline 보간법에 의한 실리콘웨이퍼 단면도 추정 / 송은지
- 발행사항
- 충남 : 남서울대학교 공학연구센터, 1999.
- 형태사항
- pp. 31-35
- 기타저자
- 송은지
- 기본자료저록
- 공학연구 : 제1호
- Control Number
- joongbu:76977
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