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전기화학적 식각정지법에 의한 고수율 압저항형 마이크로 압력센서의 제작
전기화학적 식각정지법에 의한 고수율 압저항형 마이크로 압력센서의 제작 / 정귀상 ; 박진성
전기화학적 식각정지법에 의한 고수율 압저항형 마이크로 압력센서의 제작

상세정보

자료유형  
 기사
청구기호  
041 동54 v.5
서명/저자  
전기화학적 식각정지법에 의한 고수율 압저항형 마이크로 압력센서의 제작 / 정귀상 ; 박진성
발행사항  
부산 : 동서대학교, 1999.
형태사항  
pp. 7-18
키워드  
전기화학 식각정지법 고수율 압저항 마이크로 압력센서
기타저자  
정귀상
기타저자  
박진성
기본자료저록  
논문집 : 제5집
Control Number  
joongbu:76277

MARC

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