자료유형  

 기사

청구기호  

041 한63기 v.14

서명/저자  

초고집적 반도체 마스크 보호용 다층페리클의 투과특성개선 / 김필수 ; 안무선 ; 김대현

발행사항  

서울 : 한양대학교 기초과학연구소, 1995.

형태사항  

pp. 125-133

키워드  

초고집적 반도체 마스크 보호용 다층페리클 투과

기타저자  

김필수

기타저자  

안무선

기타저자  

김대현

기본자료저록  

기초과학논문집 : 제14집

Control Number  

joongbu:73869