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SiF₄H₂gas를 이용하여 제조된 다결정 실리콘 박막에서의 기판에 따른 Stress 특성변화
SiF₄H₂gas를 이용하여 제조된 다결정 실리콘 박막에서의 기판에 따른 Stress 특성변화
- 자료유형
- 기사
- 청구기호
- 041 국38기 v.15
- 서명/저자
- SiF₄H₂gas를 이용하여 제조된 다결정 실리콘 박막에서의 기판에 따른 Stress 특성변화 / 이창우 ; 고민경 ; 우상록
- 발행사항
- 서울 : 국민대학교 기초과학연구소, 1996.
- 형태사항
- pp. 151-160
- 기타저자
- 이창우
- 기타저자
- 고민경
- 기타저자
- 우상록
- 기본자료저록
- 논문집 : 제15집
- Control Number
- joongbu:63416
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