서브메뉴
검색
스퍼터링을 이용한 Cu 박막 증착과 그 플라즈마의 OES를 통해 진단
스퍼터링을 이용한 Cu 박막 증착과 그 플라즈마의 OES를 통해 진단
- 자료유형
- 기사
- 청구기호
- 041 국38기 v.13
- 서명/저자
- 스퍼터링을 이용한 Cu 박막 증착과 그 플라즈마의 OES를 통해 진단 / 이효재 ; 조영석
- 발행사항
- 서울 : 국민대학교 기초과학연구소, 1994.
- 형태사항
- pp. 101-112
- 기타저자
- 이효재
- 기타저자
- 조영석
- 기본자료저록
- 논문집 : 제13집
- Control Number
- joongbu:63368
Подробнее информация.
- Бронирование
- 캠퍼스간 도서대출
- 서가에 없는 책 신고
- моя папка
