자료유형  

 기사

청구기호  

041 국38기 v.13

서명/저자  

스퍼터링을 이용한 Cu 박막 증착과 그 플라즈마의 OES를 통해 진단 / 이효재 ; 조영석

발행사항  

서울 : 국민대학교 기초과학연구소, 1994.

형태사항  

pp. 101-112

키워드  

스퍼터링 Cu 박막 플라즈마 OES

기타저자  

이효재

기타저자  

조영석

기본자료저록  

논문집 : 제13집

Control Number  

joongbu:63368