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질소이온 주입에 의한 Al의 재결정화 및 AlN의 형성에 관한 연구
질소이온 주입에 의한 Al의 재결정화 및 AlN의 형성에 관한 연구 / 조용희 ; 조성진 ; 최태운
질소이온 주입에 의한 Al의 재결정화 및 AlN의 형성에 관한 연구
자료유형  
 기사
청구기호  
041 경54 v.13-2
서명/저자  
질소이온 주입에 의한 Al의 재결정화 및 AlN의 형성에 관한 연구 / 조용희 ; 조성진 ; 최태운
발행사항  
부산 : 경성대학교, 1992.
형태사항  
pp. 195-202
키워드  
질소이온 주입 Al 재결정화 AlN 형성
기타저자  
조용희
기타저자  
조성진
기타저자  
최태운
기본자료저록  
논문집 : 제13집 2권 <자연과학·예술 편>
Control Number  
joongbu:59494
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