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고에너지 이온주입 공정조건에 따른 유기 결함의 거동 양상과 그 감소대책
고에너지 이온주입 공정조건에 따른 유기 결함의 거동 양상과 그 감소대책
상세정보
MARC
008990611s1998 ulkaACa kor■090 ▼a041▼b고29공▼cv.36
■245 ▼a고에너지 이온주입 공정조건에 따른 유기 결함의 거동 양상과 그 감소대책▼d고중혁▼e김인수▼e김종관▼e성영권
■260 ▼a서울▼b고려대학교 부설 공학기술연구소▼c1998.
■300 ▼app. 69-74
■653 ▼a고에너지▼a이온주입▼a공정조건▼a유기결함▼a거동양상
■700 ▼a고중혁
■700 ▼a김인수
■700 ▼a김종관
■700 ▼a성영권
■773 ▼t논문집▼g공학논문집 제36호
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