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고에너지 이온주입 공정조건에 따른 유기 결함의 거동 양상과 그 감소대책
고에너지 이온주입 공정조건에 따른 유기 결함의 거동 양상과 그 감소대책
- 자료유형
- 기사
- 청구기호
- 041 고29공 v.36
- 서명/저자
- 고에너지 이온주입 공정조건에 따른 유기 결함의 거동 양상과 그 감소대책 / 고중혁 ; 김인수 ; 김종관 ; 성영권
- 발행사항
- 서울 : 고려대학교 부설 공학기술연구소, 1998.
- 형태사항
- pp. 69-74
- 기타저자
- 고중혁
- 기타저자
- 김인수
- 기타저자
- 김종관
- 기타저자
- 성영권
- 기본자료저록
- 논문집 : 공학논문집 제36호
- Control Number
- joongbu:57087
