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채널 식각형 비정질 실리콘 박막 트랜지스터에서 배면에 수소 이온 도핑효과
채널 식각형 비정질 실리콘 박막 트랜지스터에서 배면에 수소 이온 도핑효과
상세정보
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■260 ▼a서울▼b경희대학교 레이저공학연구소▼c1997.
■300 ▼app. 57-62
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■773 ▼t논문집▼g레이저공학(제8권)