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실리콘 웨이퍼의 표면조직화에 따른 광학적 특성분석 / 오데레사 저

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실리콘 웨이퍼의 표면조직화에 따른 광학적 특성분석

자료유형: 기사

ISSN: 22344772

청구기호: 621.382 해63한 v.15-11

서명/저자: 실리콘 웨이퍼의 표면조직화에 따른 광학적 특성분석 / 오데레사 저

발행사항: 부산 : 한국정보통신학회, 2011.

형태사항: pp. 2439-2443

키워드: 단결정실리콘

키워드: 다결정실리콘

키워드: 반사도

키워드: 표면조직화

키워드: 염기성-식각

기타저자: 오데레사

기본자료저록: 한국정보통신학회논문지 = Journal of the Korea institute of information & communication engineering : Vol15 No11 2011, 11

모체레코드: 모체정보확인

Control Number: joongbu:401681

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