자료유형  

 기사

ISSN  

22344772

청구기호  

621.382 해63한 v.15-11

서명/저자  

실리콘 웨이퍼의 표면조직화에 따른 광학적 특성분석 / 오데레사 저

발행사항  

부산 : 한국정보통신학회, 2011.

형태사항  

pp. 2439-2443

키워드  

단결정실리콘

키워드  

다결정실리콘

키워드  

반사도

키워드  

표면조직화

키워드  

염기성-식각

기타저자  

오데레사

기본자료저록  

한국정보통신학회논문지 = Journal of the Korea institute of information & communication engineering : Vol15 No11 2011, 11

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

joongbu:401681