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실리콘 웨이퍼의 표면조직화에 따른 광학적 특성분석
실리콘 웨이퍼의 표면조직화에 따른 광학적 특성분석
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 22344772
- Callnumber
- 621.382 해63한 v.15-11
- Title/Author
- 실리콘 웨이퍼의 표면조직화에 따른 광학적 특성분석 / 오데레사 저
- Publish Info
- 부산 : 한국정보통신학회, 2011.
- Material Info
- pp. 2439-2443
- Index Term-Uncontrolled
- 단결정실리콘
- Index Term-Uncontrolled
- 다결정실리콘
- Index Term-Uncontrolled
- 반사도
- Index Term-Uncontrolled
- 표면조직화
- Index Term-Uncontrolled
- 염기성-식각
- Added Entry-Personal Name
- 오데레사
- Host Item Entry
- 한국정보통신학회논문지 = Journal of the Korea institute of information & communication engineering : Vol15 No11 2011, 11
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:401681
Detail Info.
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