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Al-Cu 금속 배선 부식 개선을 위한 공정조건 최적화에 관한 연구
Al-Cu 금속 배선 부식 개선을 위한 공정조건 최적화에 관한 연구
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 22344772
- 청구기호
- 621.382 해63한 v.16-11
- 서명/저자
- Al-Cu 금속 배선 부식 개선을 위한 공정조건 최적화에 관한 연구 / 문성열 ; 강성준 ; 정양희 공저
- 발행사항
- 부산 : 한국정보통신학회, 2012.
- 형태사항
- pp. 2525-2531
- 키워드
- 부식
- 키워드
- PR 제거
- 키워드
- 세정 조건
- 키워드
- 금속 식각
- 키워드
- 염소
- 기타저자
- 문성열
- 기타저자
- 강성준
- 기타저자
- 정양희
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:396610
