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Al-Cu 금속 배선 부식 개선을 위한 공정조건 최적화에 관한 연구
Al-Cu 금속 배선 부식 개선을 위한 공정조건 최적화에 관한 연구
상세정보
MARC
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■245 ▼aAl-Cu 금속 배선 부식 개선을 위한 공정조건 최적화에 관한 연구▼d문성열▼e강성준▼e정양희 공저
■260 ▼a부산▼b한국정보통신학회▼c2012.
■300 ▼app. 2525-2531
■653 ▼a부식
■653 ▼aPR 제거
■653 ▼a세정 조건
■653 ▼a금속 식각
■653 ▼a염소
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■773 ▼t한국정보통신학회논문지 = Journal of the Korea institute of information & communication engineering▼gVol16 No11▼d2012, 11
■SIS ▼aS106577▼b351102▼h2▼s2▼fA
