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계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화
계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12250562
- Callnumber
- 620.1 한16ㅎ v.22-11
- Title/Author
- 계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화 / 장수천 ; 안준호 ; 박재홍 ; 정해도 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국재료학회, 2012.
- Material Info
- pp. p587-590
- Index Term-Uncontrolled
- 계면활성제
- Index Term-Uncontrolled
- 구리 하이브리드
- Added Entry-Personal Name
- 장수천
- Added Entry-Personal Name
- 안준호
- Added Entry-Personal Name
- 박재홍
- Added Entry-Personal Name
- 정해도
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:395063
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