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계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화
계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화 / 장수천 ; 안준호 ...
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계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화
자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
청구기호  
620.1 한16ㅎ v.22-11
서명/저자  
계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화 / 장수천 ; 안준호 ; 박재홍 ; 정해도 공저
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2012.
형태사항  
pp. p587-590
키워드  
계면활성제
키워드  
구리 하이브리드
기타저자  
장수천
기타저자  
안준호
기타저자  
박재홍
기타저자  
정해도
기본자료저록  
한국재료학회지 = Korean journal of materials research : 제22권 제11호 2012, 11
모체레코드  
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Control Number  
joongbu:395063
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