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NH₄OH용액이 반도체 소자용 구리 박막 표면에 미치는 영향
NH₄OH용액이 반도체 소자용 구리 박막 표면에 미치는 영향
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12250562
- Callnumber
- 620.1 한16ㅎ v.22-9
- Title/Author
- NH₄OH용액이 반도체 소자용 구리 박막 표면에 미치는 영향 / 이연승 ; 노상수 ; 나사균 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국재료학회, 2012.
- Material Info
- pp. p459-464
- Index Term-Uncontrolled
- NH4OH
- Index Term-Uncontrolled
- 반도체 소자용 구리 박막
- Added Entry-Personal Name
- 이연승
- Added Entry-Personal Name
- 노상수
- Added Entry-Personal Name
- 나사균
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:395054
Detail Info.
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