자료유형  

 기사

ISSN  

12257508

청구기호  

041 조54에 v.24-2

서명/저자  

Cu CMP에 의한 웨이퍼 불균일도 특성 개선 / 이우선 저 ; 이영식 저

발행사항  

광주 : 조선대학교, 2002.

형태사항  

pp. pp.155-166

일반주제명  

Cu CMP 웨이퍼 불균일도

기타저자  

이우선

기타저자  

이영식

기타저자  

손동민

기본자료저록  

에너지·자원 신기술연구소 논문지 : 제24권 2호 2002, 12

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joongbu:375538