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Cu CMP에 의한 웨이퍼 불균일도 특성 개선
Cu CMP에 의한 웨이퍼 불균일도 특성 개선
상세정보
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12257508
- Callnumber
- 041 조54에 v.24-2
- Title/Author
- Cu CMP에 의한 웨이퍼 불균일도 특성 개선 / 이우선 저 ; 이영식 저
- Publish Info
- 광주 : 조선대학교, 2002.
- Material Info
- pp. pp.155-166
- Added Entry-Personal Name
- 이우선
- Added Entry-Personal Name
- 이영식
- Added Entry-Personal Name
- 손동민
- Host Item Entry
- 에너지·자원 신기술연구소 논문지 : 제24권 2호 2002, 12
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- joongbu:375538
MARC
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