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불순물이 이온 주입된 Si의 CO2레이저 빔에 의한 열처리 효과
불순물이 이온 주입된 Si의 CO2레이저 빔에 의한 열처리 효과 / 윤희중 저 ; 고동섭 저
불순물이 이온 주입된 Si의 CO2레이저 빔에 의한 열처리 효과
자료유형  
 기사
청구기호  
041 목66 v.21
서명/저자  
불순물이 이온 주입된 Si의 CO2레이저 빔에 의한 열처리 효과 / 윤희중 저 ; 고동섭 저
발행사항  
대전 : 목원대학교, 1983.
형태사항  
pp. pp.83-90
일반주제명  
불순물
기타저자  
윤희중
기타저자  
고동섭
기본자료저록  
(목원대학교)논문집 : 제21집 (1992년) 1983, 12
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
joongbu:372900
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