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마그네트론 코스퍼터링에 의한 측온저항체 온도센서용 Pt-Co 합금박막의 증착과 그 특성
마그네트론 코스퍼터링에 의한 측온저항체 온도센서용 Pt-Co 합금박막의 증착과 그 특성 / 정귀...
마그네트론 코스퍼터링에 의한 측온저항체 온도센서용 Pt-Co 합금박막의 증착과 그 특성
자료유형  
 기사
청구기호  
041 동54 v.3
서명/저자  
마그네트론 코스퍼터링에 의한 측온저항체 온도센서용 Pt-Co 합금박막의 증착과 그 특성 / 정귀상 저 ; 김서연 저
발행사항  
부산 : 동서공과대학교, 1997.
형태사항  
pp. PP.173-186
일반주제명  
마그네트론 코스퍼터링 Pt-Co 합금박막의 증착
기타저자  
정귀상
기타저자  
김서연
기타저자  
노상수
기본자료저록  
(동서대학교)논문집 : 제3집 (1997년) 1997, 12
모체레코드  
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Control Number  
joongbu:370848
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