자료유형  

 학위논문

DDC  

535

청구기호  

535 한45ㄱ

저자명  

한봉명

서명/저자  

고주파 평면 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 ZnO 박막의 [0002] 배향성과 압전소자에의 응용연구 = [0002] Orientation of ZnO Films Prepared by a RF Planar Magnetrom Sputtering and Their Application to Piezoelectric Devices / 韓鳳鳴 저

발행사항  

대전 : 韓南大學校, 1997.

형태사항  

xiii,167 p. : 삽도 ; 26 cm.

학위논문주기  

학위논문(박사) - 한남대학교 대학원 : 물리학과, 1997.

키워드  

고주파 평면 마그네트론 스퍼터링 제작된 ZnO 박막 [0002] 배향성 압전소자 응용연구

Control Number  

joongbu:34812